探針臺主要為電性測量而設計。針尖鍍金的探針可以連接在熱臺腔室內部的電極上,針座可以移動,保證針尖可以接觸到熱臺上的任何一個區域。探針壓在樣品上的力度可以通過彈簧調整。
兩種型號的探針臺可以選擇。LTS420-P主要為半導體器件的電性測量而設計。選擇冷卻系統,溫度可以低到-196℃。
參數:
溫度范圍:-196到420℃ (-196℃需選擇專用冷卻系統)
全程溫度精度/穩定性:0.1℃/<0.1℃
光孔直徑:φ2.4mm
樣品區域面積: 58x43mm
4個樣品探針,2個LEMO接頭(BNC接頭可以提供)
加熱速率: 0.1-30℃/min
超薄熱臺窗口:0.17mm
臺體尺寸- 169 x 110 x 25.8 mm
最小物鏡/聚光鏡工作距離: 8.2/12.5mm
氣密樣品腔室,可充入保護性氣體
滑動上蓋易于樣品導入
獨立溫度控制