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中科院上海微系統與信息技術研究所完成THMS600冷熱臺安裝和培訓工作
發布時間：2017-11-17 18:29

中科院上海微系統與信息技術研究所采用THMS600冷熱臺，該冷熱臺配備LNP液氮冷卻系統，ECP水循環系統，LINK控溫軟件，搭配Leica DM4000M 金相顯微鏡，主要研究半導體材料等，現已完成驗收工作。
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