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中科院上海光機所完成TS1500V高溫真空臺安裝和驗收工作
發布時間:2017-07-21 09:50

中科院上海光機所采用TS1500V高溫真空臺,該高溫真空臺配備pfeiffer真空泵和真空規,ECP水循環系統,LINK控溫軟件,溫度范圍為室溫至1500℃,真空度可以達到10(﹣1)Pa。搭配ZEISS AXIO Imager A2m金相顯微鏡?,F已完成驗收工作。